导语

陕西君研科技有限公司近日宣布，其自主研发的金属电容真空压力计正式投入市场。作为国内首款覆盖1Torr至1000Torr宽量程、精度达0.2%FS的高端真空测量设备，该产品以100%国产化材料和工艺，直击半导体、核工业、新能源等领域长期依赖进口的痛点，为国产化替代提供高性价比解决方案。

技术突破：全自主设计，对标国际顶尖性能

金属电容真空压力计是精密制造中的核心传感器，其精度和可靠性直接影响半导体镀膜、核反应堆监测等关键工艺。君研科技通过三年技术攻关，成功打破国外技术壁垒，实现三大核心创新：

材料革新：采用镍基合金膜片与304SS不锈钢外壳，耐腐蚀性提升3倍，可长期接触强酸、等离子体等复杂介质；

工艺升级：多层真空密封焊接技术确保年漂移率低于0.5%FS，稳定性达国际一线水平；

智能化设计：内置自适应温度补偿算法，在-20℃至80℃介质温度范围内，温漂≤0.04%FS/℃，显著优于进口同类产品。

产品已通过中国计量科学研究院认证，量程覆盖0-1000Torr，响应时间≤20ms，输出支持0-10VDC、RS485等多信号模式，适配工业自动化场景需求。

精准适配：四大核心场景解决“卡脖子”难题

尽管初入市场，君研科技金属电容真空压力计已展现出明确的场景适配性：

1. 半导体制造：真空腔体的“精密标尺”

应用环节：刻蚀机、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备的真空压力监测；

技术优势：在纳米级薄膜沉积中，0.2%FS的高精度可确保腔体压力波动控制在±0.1Torr内，避免镀膜不均匀导致的芯片良率下降；

实测数据：某8英寸晶圆厂测试显示，连续500小时运行零故障，与进口设备数据偏差小于0.1%。

2. 核工业：安全监测的“可靠屏障”

应用场景：铀浓缩设备真空密封检测、核反应堆冷却系统压力监控；

严苛验证：通过强辐射环境模拟测试，膜片在γ射线辐照下无性能衰减，寿命达10万次循环。

3. 新能源与医疗：新兴领域的“国产方案”

氢能储运：支持70MPa高压环境监测，抗氢脆特性解决进口传感器易失效问题；

医疗灭菌：适配等离子体灭菌器真空控制，响应时间≤20ms，确保灭菌过程高效安全。

4. 工业自动化：复杂工况的“全能选手”

宽温区适配：存储温度-40℃至85℃，可应用于超低温液氮存储、高温工业炉等场景；

抗干扰设计：在强电磁干扰环境中，信号输出波动小于0.05%，保障设备连续稳定运行。

国产化替代路径：从技术到服务的全链条支撑

面对国产传感器“不敢用、不会用”的行业痛点，君研科技推出“三步走”策略：

精准选型支持：提供VM01系列多型号配置（如VM01-S4-U1-101-C1-E3），覆盖1Torr至1000Torr量程，支持KF16、VCR等多种接口，满足定制化需求；

快速响应服务：组建24小时技术团队，为进口设备替换提供“一对一”方案设计；

成本优势凸显：产品定价优于进口同类的，交货周期大大压缩。

政策赋能：打造自主可控产业生态

在国家“十四五”高端传感器专项政策支持下，君研科技联合西安交通大学、中科院等机构共建“真空传感联合实验室”，推动产学研协同创新。

“国产化替代需要时间，但我们已迈出坚实一步。”君研科技总经理表示，未来将重点拓展光伏薄膜制备、超导研究等新兴领域，并参与制定3项行业标准，抢占技术话语权。

结语：以中国精度定义产业高度

陕西君研科技金属电容真空压力计的上市，不仅填补了国内宽量程、高精度真空测量设备的空白，更以全自主技术证明了国产传感器直面国际竞争的实力。在政策与市场的双重驱动下，这场从“替代”到“引领”的征程，正在重新书写中国高端制造的精度标准。

关于陕西君研科技有限公司

陕西君研科技成立于2016年，专注高端压力传感器研发与制造，拥有10余项核心专利。其金属电容真空压力计系列已通过ISO 17025认证，将广泛应用于半导体、核工业、新能源等领域，致力于成为国产化替代的核心推动者。